GPI系列激光干涉测量仪,运用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析。可应用于:
平面和球面的面形检测
平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差
光学材料均匀性测量
角锥角度和面形偏差测量
精密盘片质量检验
三平板*测量
双球面*测量
静态干涉条纹判断
泽尼克多项式分析
球面曲率半径测量
GPI系列高精度激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪,具有光学器件少,精度高,易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光,光束扩展为1英寸(25mm)至 3GPI系列激光干涉测量仪,运用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析。可应用于:
平面和球面的面形检测
平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差
光学材料均匀性测量
角锥角度和面形偏差测量
精密盘片质量检验
三平板*测量
双球面*测量
静态干涉条纹判断
泽尼克多项式分析
球面曲率半径测量
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