GPI系列激光干涉测量仪运用移相干涉原理提供高精度的平面面形球面面形曲率半径样品表面质量传输波前的测量和分析。可应用于:
平面和球面的面形检测
平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差
光学材料均匀性测量
角锥角度和面形偏差测量
精密盘片质量检验
三平板*测量
双球面*测量
静态干涉条纹判断
泽尼克多项式分析
球面曲率半径测量
平面和球面的面形检测
平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差
光学材料均匀性测量
角锥角度和面形偏差测量
精密盘片质量检验
三平板*测量
双球面*测量
静态干涉条纹判断
泽尼克多项式分析
球面曲率半径测量
GPI系列干涉仪采用精密移相技术和高分辨率CCD接收器件(*可达 2048 X 2048)配合功能强大的MetroPro™软件可以获得高精确性和高质量的测量结果其平面样品 PV*精度优于λ/100 !
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